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著者名小池緋扇、秋元茂
出版社名アイノア
発売日2013年07月
ISBN9784881696958

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ウェハ検査装置・測定装置ラボ.comとは

ウェハ検査装置・測定装置ラボ.comはウェハの製造プロセスにおける検査・試験装置に関する情報掲載をした専門サイトです。
スマートフォンに始まり、車載向け等、生活における必需品となっている半導体の製造プロセスにおいて、大手装置メーカーでは
対応ができない、特定プロセスを自動化するための装置を提案しているのが本サイトです。

ウェハ検査装置・測定装置ラボ.comが提供する装置とは?

ウェハ検査装置・測定装置ラボ.comでは、ウェハ素材工程ならびに前工程(ウェハプロセス)における
検査・測定用の装置を提供しており、同領域に特化した専門メーカーです。

ウェハ製造メーカー
  • インゴット
    製造工程

    ・インゴットグラインダ

    ・形状測定機

    ・抵抗測定機

  • スライシング
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    ・ウェハ測定機

  • べべリング
    工程

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  • ラッピング
    工程

    ・自動厚さ測定機

    ・手動厚さ測定機

    ・厚さ仕分け機

    ・キャリア厚さ測定機

    ・自動抵抗率測定機

    ・目視検査装置

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    ・一括移載機

    ・ID読み取り装置

    ・ノッチオリフラ整列機

  • エッジング
    工程

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    ・一括移載機

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    ・ボート移載機

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  • ポリッシング
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  • 洗浄工程

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  • 検査工程

    ・表面検査装置

デバイスメーカー
  • 洗浄工程
    表面酸化工程

    ・ウエハ移載機

    ・一括移載機

  • パターニング
    工程

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  • テスト工程

    ・UV照射装置

  • バックグラ
    インド工程

    ・厚さ測定機

    ・顕微鏡ローダー

    ・TAIKOウェハ自動搬送装置

    ・リング付きウェハ移載機

  • パッケージング
    工程

    ・チップ移載機

工程名称にカーソルを合わせて頂くと実績をご覧いただけます。

当社の装置の多くは、スタンドアローン(自動・手動)装置ですが、
インライン装置の設計・製作も可能であり、各種装置の設計・製作実績を取り揃えています。

これまでの装置実績をご紹介!

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